台积电产线突发气体污染

发布时间:2021-07-30 丨 阅读次数:

据台湾《联合报》报道，台积电公司先进工序给苹果生产5nm芯片的重地的南科18a厂，29日晚间传出工序出现状况，工厂内部分产线停摆，7月30日上午，供货商通通都被挡在厂区外不得入内。

据台湾《联合报》报道，之前有供应商透露，出现状况的原因应该是该厂区的氧气供应受到污染，由于牵涉工序相当多，台积电从7月29日晚至7月30日早上已经忙成一团。台积电南科18a厂于7月30日12时举行生产会议证实，确实有部分来自厂商供应的氧气疑似受到污染，已实时调度其他气体供应，此次发生的状况对生产线并无造成显著影响。台积电表示正在密切监控后续发展，以确保生产质量不受影响，芯片仍正常生产。

半导体从业者表示，半导体生产工序多达700多道，约有270道需使用氧气，包括蚀刻、物理及化学研磨，几乎都是核心工序；而且台积电18a厂处理的是目前台积电最先进的5纳米核心工序，目前的生产项目又是苹果下一代5G手机要用的核心处理器和美国超威半导体（AMD）的新一代处理器。半导体从从业者认为，此刻发生氧气污染，可能是直会中台积电要害，但预计台积电会全力排除相关问题，尽快让生产线恢复，详细影响还有待台积电进一步说明。